採用Carl Zeiss鏡片，鍍層膜高達(dá)14層，高解析度，消色差，球面差，複差*消除。
ZEISS Discovery 12x立體變焦鏡頭，高度2D光學(xué)照相的圖像處理功能。
*的同軸光照明，及8段雙色LED環(huán)形燈，紅光及藍(lán)光，因波長不一樣，可增加對(duì)焦精度。

蔡司掃描電鏡具有遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)(ecentric)，它的優(yōu)點(diǎn)如下：
傳統(tǒng)鏡頭看物體會(huì)有不同投射角度，因此物體的形狀及大小會(huì)呈現(xiàn)失真，而不容易精確的找到特點(diǎn)， 不像傳統(tǒng)鏡頭會(huì)隨距離改變而影像大小改變，使用ecentric 鏡頭，不管物體靠近或遠(yuǎn)離Camera，影像大小維持不變。它能降低放大誤差和增加量測景深，適合各種精密量測。
a.焦距動(dòng)到也不會(huì)改變圖像的大小(不影響放大倍率)。
b.不會(huì)因物體反射率的不同，而使實(shí)的〝像〞(灰階)失真，也就是影像零失真。

使用ecentric遠(yuǎn)心鏡頭從相同的視角來觀察顯示整個(gè)物體時(shí)，不會(huì)像用標(biāo)準(zhǔn)鏡頭3D特徵出現(xiàn)的透視變形和圖像位置錯(cuò)誤，即使在物體的深孔，整個(gè)視野也清晰可見，在檢查3D物體或圖像形狀和位置要求精確下，使用遠(yuǎn)心光學(xué)鏡頭ecentric是目前zui有效的選擇。
因?yàn)閑centric鏡頭為了要減少失真，讓平行光進(jìn)入，所以鏡頭設(shè)計(jì)必須比較大，所以低倍率鏡頭通?？趶蕉己艽螅璧溺R片材料成本較高，所以價(jià)格較高。

VAST XXT scanning touch probe :
採用 ZEISS VAST XXT Direkt TL1掃描式探頭系統(tǒng)。
量測方式 :單點(diǎn)或掃描式量測。
量測速度 : 單點(diǎn)量測 up to 2.5 s/point ， 掃描量測 200 point /s。
探針zui長可接 : 125mm，側(cè)向可接到 40mm長， 3軸皆可接探針。
採用ZEISS *設(shè)計(jì) VAST-XXT 掃描式電子探頭
(在圓直徑及圓中心的數(shù)據(jù)都有些微偏差)。

掃描式探頭比較不易判斷錯(cuò)誤

單點(diǎn)容易造成量測誤差